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矽片清洗廢水回用

文章(zhāng)作(zuò)者：萊特萊德發布時間：2022-08-11

近年(nián)來(lái)，矽片産業發展迅速。矽片是制造晶體(tǐ)管和集成電路(lù)的原材料。換句話(huà)而言，就(jiù)是矽片是芯片制造的原材料。通常是晶矽的切片，通過光(guāng)刻和離(lí)子注入的方法制成各種半導體(tǐ)器件(jiàn)，是半導體(tǐ)工業中重要的原材料。随着矽片工業的蓬勃發展，環境污染問(wèn)題随之而來(lái)，産生(shēng)了大(dà)量的廢水。生(shēng)産廢水主要來(lái)自(zì)多晶矽錠切片過程的清洗環節。多晶矽錠經混酸表面處理(lǐ)後，在清洗過程中産生(shēng)含酸廢水。由于表面處理(lǐ)是硝酸和氫氟酸的混合酸，清洗廢水中的主要污染物是pH、氟化物和鈣鹽。

采用雙級反滲透系統對清洗廢水進行深度處理(lǐ)。通過預處理(lǐ)降低鈣離(lí)子和氟離(lí)子含量後，可(kě)滿足超濾系統進水要求。廢水進入超濾系統，超濾産水進入一級反滲透處理(lǐ)系統，産水進入産水箱，濃水進入二級反滲透系統進一步回收。

膜法矽片清洗廢水處理(lǐ)工藝：

矽片清洗廢水→預處理(lǐ)→超濾→一級反滲透→二級反滲透→産水

兩級反滲透系統法回用矽片清洗廢水中醋酸的過程是純物理(lǐ)常溫操作(zuò)工藝，無化學反應，能耗低。整套反滲透系統可(kě)設計(jì)在線再生(shēng)清洗排污裝置，降低勞動強度和生(shēng)産成本，提高生(shēng)産效率。反滲透系統總回收率控制在75%左右，實現有效回收。膜元件(jiàn)填充面積大(dà)，系統占地面積小，便于技術(shù)改造、擴建或新建項目，降低了生(shēng)産成本和投資。

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