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集成電路(lù)清洗廢水回用系統

文章(zhāng)作(zuò)者：萊特萊德發布時間：2022-08-11

集成電路(lù)作(zuò)爲集成電路(lù)産品的核心部件(jiàn)，其質量的好壞直接決定到集成電路(lù)整機(jī)産品的性能和可(kě)靠性。在集成電路(lù)的制備過程中，表面附着的顆粒、有機(jī)物、金屬等污染物嚴重影(yǐng)響器件(jiàn)的性能。随着集成電路(lù)闆中單元圖案的日(rì)益小型化和集成度的提高，對器件(jiàn)性能、可(kě)靠性、産量和使用壽命的要求也越來(lái)越高。因此，在集成電路(lù)制造過程中的許多工藝，如(rú)矽氧化、光(guāng)刻、外延、擴散和鉛蒸發等之前，爲了獲得(de)符合清潔度要求的矽片，要用物理(lǐ)或化學方法去(qù)除矽片表面的污染物及其自(zì)身(shēn)的氧化物，但(dàn)這也産生(shēng)了大(dà)量的廢水。

集成電路(lù)闆清洗過程中排出的廢水含有纖維物質、鉻、鎳、鋅、酸堿等污染成分(fēn)，如(rú)不進行有效處理(lǐ)或處理(lǐ)不當，将對環境造成嚴重污染。天然水體(tǐ)受酸、堿、重金屬污染後，水體(tǐ)的緩沖作(zuò)用被破壞，使水質惡化，抑制或阻止微生(shēng)物活動，降低水的自(zì)淨能力，還(hái)會對農作(zuò)物造成危害，重金屬離(lí)子對健康有很大(dà)的危害。而且水中的重金屬離(lí)子不會被微生(shēng)物降解，它們可(kě)以在生(shēng)物體(tǐ)内吸附、積累和富集，對人(rén)類、魚類、浮遊生(shēng)物都(dōu)有非常大(dà)的危害，嚴重時可(kě)造成作(zuò)物減産或牲畜死亡。

随着我國(guó)“節能減排”政策的實施，在集成電路(lù)行業用水大(dà)戶的環評批複中明确提出，除要求廢水達标排放(fàng)外，還(hái)明确要求廢水必須達到一定的回用率，實現循環經濟。在現有技術(shù)中，生(shēng)産企業主要是将上述工藝混合在同一個集成電路(lù)清洗廢水回用設備中進行處理(lǐ)，集成電路(lù)清洗廢水的成分(fēn)複雜，現有設備對這種廢水的處理(lǐ)需要使用較多的藥劑進行反應，浪費了較多的藥劑，同時這種廢水設備的結構複雜，不利于操作(zuò)人(rén)員(yuán)進行維護。

萊特萊德的集成電路(lù)清洗廢水回用系統工藝合理(lǐ)，運行持久穩定，經濟效益明顯，環境風(fēng)險性能可(kě)控，整體(tǐ)布局高度集成，美觀大(dà)方。該系統采用Neterfo極限分(fēn)離(lí)和MVR蒸發的組合，加上高效的軟化和脫硬系統，降低了膜系統結垢和污染的風(fēng)險，保證了系統的穩定運行。Neterfo極限分(fēn)離(lí)系統簡單的模塊化設計(jì)使其運行更加靈活，能夠實現集成電路(lù)廢水的回用和近零排放(fàng)處理(lǐ)。集成電路(lù)清洗廢水回用系統的不斷創新使我國(guó)對集成電路(lù)的需求不斷增加，集成電路(lù)廢水的有效回用符合我國(guó)目前的節水環保理(lǐ)念。

集成電路(lù)行業是一個重度污染的行業，有很多設計(jì)生(shēng)産環節，各生(shēng)産環節産生(shēng)的廢水類型差異比較大(dà)，需要進行廢水分(fēn)流和單獨處理(lǐ)。對于一些污染較輕的廢水，可(kě)以進行綜合處理(lǐ)。集成電路(lù)工業和其他(tā)行業産生(shēng)的含有重金屬離(lí)子的廢水量越來(lái)越大(dà)，成分(fēn)也越來(lái)越複雜。在選擇其處理(lǐ)方法時，應考慮水質、水量、處理(lǐ)效果和經濟投入等因素，綜合運用各種組合工藝和新技術(shù)，揚長避短(duǎn)。

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