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大(dà)型集成電路(lù)生(shēng)産用超純水設備工藝解析

文章(zhāng)作(zuò)者：萊特萊德發布時間：2022-08-10

大(dà)型集成電路(lù)生(shēng)産用超純水設備顧名思義主要應用于集成電路(lù)生(shēng)産用水，該設備引進國(guó)外進口元件(jiàn)，結合國(guó)内外制水經驗，選用先進的反滲透技術(shù)和EDI技術(shù)相(xiàng)結合，有效去(qù)除水中的各種雜質。大(dà)型集成電路(lù)生(shēng)産用超純水設備具有出水水質好，操作(zuò)簡單，制水效果明顯等特點。

大(dà)型集成電路(lù)生(shēng)産用超純水設備工藝

1、預處理(lǐ)系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→抛光(guāng)樹(shù)脂→精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(傳統工藝)

2、預處理(lǐ)→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→抛光(guāng)樹(shù)脂→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)

3、預處理(lǐ)→一級反滲透→加藥機(jī)(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(新工藝)

4、預處理(lǐ)→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)

5、預處理(lǐ)系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統工藝)

大(dà)型集成電路(lù)生(shēng)産用超純水設備特點

1、整體(tǐ)化程度高、易于擴展、增加膜數量即可(kě)增加處理(lǐ)量。

2、自(zì)動化程度高，遇故障立即自(zì)停，具有自(zì)動保護功能。

3、膜組件(jiàn)爲複合膜卷制而成，表現出更高的溶質分(fēn)離(lí)率和透過速率。

4、能耗低、水利用率高、運行成本低。

5、結構合理(lǐ)，占地面積少。

6、先進的膜保護系統，在設備關機(jī)，淡化水可(kě)自(zì)動将膜面污染物沖洗幹淨，延長膜壽命。

7、系統無易損部件(jiàn)，無須大(dà)量維修，運行長期有效。

8、設備設計(jì)有膜清洗系統用阻垢系統。

萊特萊德專注于水處理(lǐ)技術(shù)十餘年(nián)，積累了豐富的水處理(lǐ)經驗。系統中水箱均設有液控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可(kě)編程控制器，真正做到了無人(rén)職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相(xiàng)統一的方法，使設備與其它同類産品相(xiàng)比較，集成電路(lù)用超純水設備具有更高的性價比和設備可(kě)靠性。

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